肯定有人會問，何為機械泵？不管是機械泵還是擴散泵都屬于真空泵，一般機械泵達到的真空泵較低，在10-4乇左右，而擴散泵的真空度較高，在10-8乇左右，擴散泵需要機械泵作為前級泵，以達到更高的真空度，就像水環(huán)真空泵配羅茨真空泵組成羅茨水環(huán)真空機組一樣，只是真空度的不同而已，一般抽取儲存液氧的氧氣瓶里面夾層的真空需要這種很高的真空機組。
關于真空度的測量，用熱偶計(或高壓強電離計)測中真空，用電離計測高真空。有一種玻璃高真空系統(tǒng)。其特點是玻璃系統(tǒng)制造方便、內(nèi)部清潔，適合于小型科研實臉。為避免機械泵振動的影響，機械泵與雙通活栓之間采用橡皮管連接。被排容器接在臺面上部，并用烘箱蓋住烘烤。雙通活栓的接法，應使機械泵或通擴散泵、或通大氣。這樣，當系統(tǒng)使用完畢時，將活栓通向大氣，防止機械泵返油;同時擴散泵得以保持真空。有些系統(tǒng)需要真空度較高，可在擴散泵上加液氮冷阱。抽氣泵用機械泵和金屬擴散泵，真空度測量用熱偶計和電離計。與玻璃系統(tǒng)不同之處在于：
1)由于真空室較大，如預抽時氣體也要通過擴散泵再到機械泵，將因路程長而需要較多時
間,需設置一預抽閥，使真空室可由此閥直接通機械泵。預抽時，開啟此閥將真空室抽氣，達到預抽要求后，將此閥關閉;
2)擴散泵較大，返油較嚴重，通常需要加擋板，如要求更高真空，則可加液氮冷阱;
3)有前置真空容器起前級壓強穩(wěn)定作用;
4)采用電磁閥，遇到突然停電時自動將真空系統(tǒng)封閉。
